растровый электронный микроскоп (РЭМ)

растровый электронный микроскоп (РЭМ)
[scanning electron microscope (SEM)] — микроскоп, в котором изображение формируется при сканировании (развертывании), т. е. последовательном от точки к точке перемещении тонкого электронного луча (зонда) по поверхности массивного образца. Первые РЭМ были созданы в Германии (фон Ардене, 1938 г.) и США (В. К. Зворыкин, 1942 г.). К середине 1960-х гг. РЭМ (рис.) достигли высокого технического совершенства, и с этого времени по темпам развития и количеству моделей РЭМ опережают ПЭМ. В настоящее время РЭМ — один из наиболее универсальных приборов для микроструктурных исследований в металле- и материаловедении. РЭМ с накаливаемым катодом имеет PC от 7 до 20 нм. Ускоряющее напряжение в РЭМ можно регулировать от 1 до 30 — 50 кВ. Современные РЭМ условно подразделяют, как и ПЭМ, на три группы: РЭМ высокого разрешения (1,5—2 нм), универсальные (PC 3—6 нм) и упрощенные (PC 7—20 нм). Наиболее распространены универсальные РЭМ, т.к. имеют хорошую PC и широкий набор детекторов, устройств для воздействия на объект исследования, обработки и представления информации.

Растровый <a href=электронный микроскоп">
Эффекты, возникающие при взаимодействии электронного пучка с веществом и используемые для формирования изображения в РЭМ: 1 — электронный пучок; 2 — образец; 3 - отраженные электроны; 4 - вторичные электроны; 5 - ток поглощенных электронов; 6 — катодолюминисценция; 7- рентгеновское излучение; 8- оже-электроны; 9— наведенный ток; 10 - прошедшие электроны

Смотри также:
Микроскоп
эмиссионный электронный микроскоп
электронный микроскоп
световой микроскоп
ионный микроскоп
просвечивающий растровый электронный микроскоп (ПРЭМ)
автоионный микроскоп (ионный проектор)


Энциклопедический словарь по металлургии. — М.: Интермет Инжиниринг. . 2000.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Полезное


Смотреть что такое "растровый электронный микроскоп (РЭМ)" в других словарях:

  • растровый электронный микроскоп (РЭМ) — растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом [ГОСТ 21006 75, статья 3] Источник …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • Растровый электронный микроскоп (РЭМ) — Изображение пыльцы Растровый электронный микроскоп (РЭМ, англ. Scanning Electron Microscope, SEM) прибор, позволяющий получать изображения поверхности образца с большим разрешением (менее микрометра). Ряд дополнительных методов позволяет получать …   Википедия

  • растровый электронный микроскоп — (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом. [ГОСТ 21006 75, статья 3] Источник …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • растровый электронный микроскоп — РЭМ Ндп. сканирующий электронный микроскоп Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом. [ …   Справочник технического переводчика

  • Растровый электронный микроскоп — …   Википедия

  • растровый электронный микроскоп — Смотри растровый электронный микроскоп (РЭМ) …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • высоковольтный растровый электронный микроскоп — 3.19 высоковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющее напряжение которого не менее 15 кВ. Источник: ГОСТ Р 8.631 2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Мик …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • низковольтный растровый электронный микроскоп — 3.18 низковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющее напряжение которого не более 2 кВ. Источник: ГОСТ Р 8.631 2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Микро …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • просвечивающий растровый электронный микроскоп (ПРЭМ) — [scanning transmission electron microscope (STEM)] просвечивающий электронный микроскоп, в котором изображение формируется аналогично РЭМ, что позволяет исключить наличие линз между образцом и регистрирующем изображение экраном. ПРЭМ обладают… …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП — прибор для наблюдения и фотографирования многократно (до 106 раз) увеличенного изображения объектов, в к ром вместо световых лучей используются пучки эл нов, ускоренных до больших энергий (30 100 кэВ и более) в условиях глубокого вакуума. Физ.… …   Физическая энциклопедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»