Имплантация ионная

Имплантация ионная
[ion implantation] — ХТО в условиях сильноточного тлеющего разряда между изделием (катодом) и анодом в газовой среде при давлении ниже атмосферного, заключаюшееся в бомбардировке поверхности металла, полупроводника или диэлектрика ионами металлов и неметаллов с целью изменения состава, структуры и свойств поверхностного слоя. Ионная имплантация применяется, например, для создания износостойких и корастворозионностойких покрытий, состоящих из химических соединений: карбидов, нитридов, оксидов, карбонитридов тугоплавких металлов: Ti, Mo, Cr и др.

Энциклопедический словарь по металлургии. — М.: Интермет Инжиниринг. . 2000.

Игры ⚽ Нужно решить контрольную?

Смотреть что такое "Имплантация ионная" в других словарях:

  • Ионная имплантация — Схема установки для ионной имплантации и селекции ионов по энергии. Ионная имплантация  способ введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ег …   Википедия

  • ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… …   Физическая энциклопедия

  • ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… …   Справочник технического переводчика

  • ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твердое тело при бомбардировке его поверхности направленным пучком ускоренных ионов. Широко применяется в технологии микроэлектроники для создания p n переходов, гетеропереходов и …   Энциклопедический словарь

  • ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА — поверхности твёрдых тел приводит к возникновению взаимосвязанных процессов, основные из к рых объёмное и поверхностное рассеяние бомбардирующих ионов (в т. ч. и с изменением их зарядового состояния), эмиссия из разл. конденсированных сред заряж.… …   Физическая энциклопедия

  • ионная имплантация — Термин ионная имплантация Термин на английском ion implantation Синонимы ионное внедрение, ионное легирование Аббревиатуры Связанные термины биосовместимые покрытия Определение введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Ионная имплантация — 7. Ионная имплантация процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная… …   Официальная терминология

  • Ионная имплантация — Ion implantation Ионная имплантация. Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под… …   Словарь металлургических терминов

  • ионная имплантация —  Ion Implantation  Ионная имплантация   Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • ионная имплантация для формирования эмиттера — emiterio jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. emitter ion implantation vok. Emitterimplantation, f rus. ионная имплантация для формирования эмиттера, f pranc. implantation ionique pour formation des zones… …   Radioelektronikos terminų žodynas


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»